システム構成においては、我々の長年の経験と知識を生かしています。 PC＆PLCとの互換性が高いです。
異なるスペックに対応でき、使いやすさ、速さ、安全性 および高精度が備えています。
平田の主力製品であり、異なる業種および生産プロセスに適用できます （ソート/ストックシステム、自動倉庫システムとトレーサビリティシステムを含めます）。
半導体製造プロセスの前面プラットホーム、運送システムと熱処理システムの生産および販売を行っています。 ICパッケージおよびテスト段階においては、製造プロセスでの搬送設備システムを生産しています。
EFEM (Equipment Front End Module)
Wafer Sorter :Freedom™ series
Wafer Handling Robot — Atmospheric Type Robot
Wafer Handling Robot — Vacuum Type Robot
FOUP Loadport 300mm KWF series
SMIF Pod Open/Close Unit 200mm KWY series
450, 300mm Prealigner
カスタマイズ製品
パネル製造においては、お客様のニーズに対し、適切な工場設備プラニングをサポートできます （例えば、コーター、ラミネートシステムおよびディスプレイ用ガラスの切断、搬送、分断、移載設備システム）。
Substrate transfer robot for the 5th generation (CR—J120CL series)
Substrate transfer robot for the 6th generation(CR—J620CL series)
Substrate transfer robot for the 7.5th & 8th generation(CR— J820CL series)
Substrate transfer robot for the 10th generation(CR—J1020CL series)
搬運設備は当社の原点であり、各事務分野に関わっている基本要素です。異なるニーズに対応できる製品が揃っています。
